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高技術(shù)計量測試產(chǎn)品及技術(shù)開發(fā)服務(wù)

無損檢測與光電測量儀器

揭曉鍍層測厚儀操作原理及涂層厚度測量的方法

文章附圖

鍍層測厚儀是將X射線照耀在樣品上,經(jīng)過從樣品上反射進去的**次X射線的強度來。測量鍍層等金屬薄膜的厚度,由于沒有接觸到樣品且照耀在樣品上的X射線只要45-75W左右,所以不會對樣品形成損壞。同時,測量的也可以在10秒到幾分鐘內(nèi)實現(xiàn)。

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鍍層測厚儀測量辦法主要有:楔切法,光截法,電解法,厚度差測量法,稱重法,X射線熒光法,β射線反向散射法,電容法、磁性測量法及渦流測量法等。這些辦法中前五種是有損檢測,測量伎倆繁瑣,速度慢,多實用于抽樣測驗。 X射線和β射線法是無接觸無損測量,但安裝復(fù)雜低廉,測量范疇較小。因有噴射源,運用者必需恪守射線防護標(biāo)準。X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法合適鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測厚時采用。

隨著技術(shù)的日益**,特別是近年來引入微機技術(shù)后,采用磁性法和渦流法的測厚儀向微型、智能、多性能、高精度、適用化的方向進了一步。測量的分辨率已達0.1微米,精度可到達1%,有了大幅度的進步。它實用范疇廣,量程寬、操作簡便且價廉,是工業(yè)和科研運用寬泛的測厚儀器。 采用無損辦法既不毀壞覆層也不毀壞基材,檢測速度快,能使少量的檢測任務(wù)經(jīng)濟地停止。

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